在世界首次开发了气冷式无油涡旋式真空泵。涡旋泵即使在干式泵中也是具有结构紧凑、振荡·噪音小的性能，得到了必需清洁高质真空用户的好评，特别在理化分析领域·半导体领域得到了高的评价。