アネスト岩田株式会社
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真空ポンプVacuum apparatus 製品情報

ISP-1000 オイルフリースクロールバキュームポンプ
RoHS対応 ISP-1000NEW!! 業界初スクロール大容量 空冷ドライ 高い省エネ性能
ISP-1000ISP-90/250C/500C排気速度外形図構造図
特長

幅広い製品ラインアップ
ISP-90からISP-1000までの4機種。
大気圧から到達圧力まで、幅広い圧力領域に対応できます。
もちろんマルチボルテージなので世界中の電源でご使用できます。

ISP-1000 仕様
形式 ISP-1000
設計排気速度 L/min(50/60Hz) 1000/1200
到達圧力 Pa {Torr} 1 {7.5×10-3}
電動機出力
kW 1.4
電源電圧 V 三相 200,208,230 / 380,415,460
騒音値 dB(A) 67
質量 kg 60
外形寸法
mm  L467×W390×H421
吸気口径 NW40
排気口径 NW40
冷却方式 空冷
標準装備 エアーフラッシュ、時間計
・到達圧力は全圧力測定値です。
・騒音値は無響音室での測定値です。
使用用途
スパッタリング装置 蒸着装置
ガス循環・回収装置 表面改質装置、電子ビーム加工機
Heリークディテクター 真空溶解炉、真空熱処理炉
液晶注入装置 真空包装機
安全上のご注意

この真空ポンプは、クリーン排気仕様です。人体に有害なガス、爆発、発火の危険性のあるガス、腐食性ガス、薬品、溶剤、粉体等は流さないでください。特殊なガス等を排気したポンプに対しては当社で保守をお引き受けできませんので、ご了承願います。

周囲温度10℃〜40℃の範囲で使用してください。

真空機器に関する
お問い合わせ
〒223-8501
神奈川県横浜市港北区新吉田町3176
アネスト岩田株式会社 真空機器部 真空販売グループ
TEL:045-591-1112 FAX:045-593-1539
e-mail:ispinfo@anest-iwata.co.jp

〒553-0001
大阪府大阪市福島区海老江6-6-4
アネスト岩田株式会社 大阪支店 真空機器担当
TEL:06-6458-5971 FAX:06-6458-5978
e-mail:ispinfo@anest-iwata.co.jp

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