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真空ポンプVacuum apparatus

ISP-90/250C/500C オイルフリースクロールバキュームポンプ

	■ 特長

■	「実績」それがアネスト岩田の証明加速器から汎用真空市場まで、ドライスクロール真空ポンプはさまざまな真空環境で活躍しています。潤滑油の逆拡散がなく、クリーンな真空が得られます。大気と真空の繰り返しにも強く、大気付近での連続運転も可能です。だからベストセラーです。
■	低振動・低騒音で高効率！それがスクロール吸気・圧縮・排気の行程が連続でトルク変動が少ない機構だから低振動・低騒音です。吸入室と排気室が隣接していない機構だから漏れが少なく高効率です。
■	冷却水・潤滑油を使用していないので、設置もメンテナンスも簡単です。オイルフィルタ・潤滑油などの点検交換が不要です。

	■ ISP-90/250C/500C 仕様

形式				ISP-90
設計排気速度	L/min（50/60Hz）			90 / 108
到達圧力	Pa {Torr}			5 {3.8×10^-2}
電動機出力	kW			0.15
電圧	V		単相	100、115 / 200、230
			三相	なし
騒音値	dB(A)			52（at Air Flush 60）
リーク量	Pa・L/s {mbar・L/s}			1x10^-2｛1x10^-4｝
質量	kg	単相		14
		三相		なし
水蒸気処理量	g/day			5（at Air Flush）
エアーフラッシュ量	L/min			7（at Air Flush）
外形寸法	mm		単相	L308×W214×H225
			三相	なし
吸気口径				NW25
排気口径				NW16
冷却方式				空冷
標準装備				エアーフラッシュ、時間計、サーマルプロテクタ付き（単相仕様）

形式				ISP-250C	ISP-500C
設計排気速度	L/min（50/60Hz）			250/300	500/600
到達圧力	Pa {Torr}			1.6 {1.2×10^-2}	1.0 {7.5×10^-3}
電動機出力	kW			0.4	0.6
電圧	V		単相	100、115 / 200、230
			三相	200、208、230 / 380、415、460
騒音値	dB(A)			58 （at Air Flush 66）	60 （at Air Flush 68）
リーク量	Pa・L/s {mbar・L/s}			1x10^-2｛1x10^-4｝
質量	kg	単相		25	44
		三相		23	38
水蒸気処理量	g/day			25（at Air Flush）
エアーフラッシュ量	L/min			10（at Air Flush）
外形寸法	mm		単相	L400×W252×H336	L443×W328×H372 （L443×W298×H397）
			三相	L370×W252×H336	L372×W328×H372 (L372×W298×H397）
吸気口径				NW25	NW40
排気口径				NW16	NW25
冷却方式				空冷
標準装備				エアーフラッシュ、時間計、サーマルプロテクタ付き（単相仕様）

・到達圧力は全圧力測定値です。　
・騒音値は無響音室での測定値です。
・（　）内寸法は吸気口、排気口が縦向きの場合です。　

	■ 使用用途

■スパッタリング装置、蒸着装置・イオンプレーティング装置	■加速器
■表面改質装置、電子ビーム加工	■真空溶解炉、真空熱処理炉
■ガス循環・回収装置	■理化学実験用、分析機器用
■各種排気装置	■真空包装機
■Heリークディテクタ	■その他
■真空吸着搬送

	■ 安全上のご注意

■	この真空ポンプは、クリーン排気仕様です。人体に有毒なガス、爆発、発火の危険性のあるガス、腐食性ガス、薬品、溶剤、粉体等は流さないでください。特殊なガス等を排気したポンプに対しては当社では保守をお引き受けできませんので、ご了承願います。
■	周囲温度5℃～40℃の範囲で使用してください。

真空機器に関する
お問い合わせ

〒223-8501
神奈川県横浜市港北区新吉田町3176
アネスト岩田株式会社　真空機器部　真空販売グループ
TEL:045-591-1112　FAX:045-593-1539
e-mail:ispinfo@anest-iwata.co.jp

〒553-0001
大阪府大阪市福島区海老江6-6-4
アネスト岩田株式会社　大阪支店　真空機器担当
TEL:06-6458-5971　FAX:06-6458-5978
e-mail:ispinfo@anest-iwata.co.jp