真空機構 |
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| ポンプ内部のガス通路に一切油を使用せず、しかも吐出口を大気に接続したまま排気できる機械式ポンプ。80年代後半に日本で開発され、クリーンでメンテナンス性にも優れるため半導体産業を中心に急速に普及している。圧縮方法によってル−ツ型・クロー型・スクリュー型・ターボ型・スクロール型などに分類できる。基本的にはコンプレッサと同一原理の機構である。 |
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