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VTU/VTC カタログダウンロード |
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（PDF形式862KB） |
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| 形式
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VTU-070-BL |
VTU-070-BM |
VTU-070-BH |
| フランジ口径 |
吸気口 |
ICF114 |
| 排気口
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NW16 |
| ターボ分子ポンプ排気速度 |
N2 |
L/s |
70 |
| H2 |
L/s |
40 |
| 到達圧力 |
Pa |
10-4台以下 |
10-5台以下 |
| 騒音 |
dB(A) |
62 |
| 粗引真空ポンプ |
DVSL-100C |
ISP-50 |
ISP-90 |
| 入力電圧
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V |
単相AC100、115、200、230V* |
| 質量 |
kg |
26 |
| 外形寸法 |
mm |
W 235×L 451×H 475 |
W 224×L 436×H 475 |
W 235×L 436×H 475 |
| オプション |
真空計(別置き)、手動・自動バルブなど |
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*自動バルブ付の場合は100Vまたは200Vの単電圧仕様となります。
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| 形式 |
VTC-150-MV1/2 |
| フランジ口径 |
吸気口 |
ICF152 |
| 排気口 |
NW16 |
| ターボ分子ポンプ排気速度 |
N2 |
L/s |
190 |
| H2 |
L/s |
160 |
| 到達圧力 |
Pa |
10-6台以下 |
| 騒音 |
dB(A) |
60 |
| 粗引真空ポンプ |
ISP-250C-SV |
| 入力電圧 |
V |
単相AC100、115/200、230V |
| 質量 |
kg |
54 |
| 外形寸法 |
mm |
W 350×L 490×H 897 |
| オプション |
チャンバ、真空計、自動バルブなど |
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※ご指定のターボ分子ポンプにて高真空排気ユニットを製作いたします。ご相談ください。
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| ■ |
クリーン排気・真空
ターボ分子ポンプとオイルフリースクロール真空ポンプとの組合せのため、完全なドライ高真空排気ユニットです。 |
| ■ |
コンパクト
非常にコンパクトで、設置面積が少ないため、現在ご使用中の装置に近接して設置可能です。
また、キャスタ付のため、移動性に優れています。 |
| ■ |
操作性
本ユニットは、スクロール真空ポンプとターボ分子ポンプを個別に運転する手動操作とボタン一つで同時にスタートさせる自動操作※があります。用途に合わせ選択が可能です。
※自動操作を行う場合、チャンバと配管部品を含んだ容量に制限があります。 |
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| ■ |
ターボ分子ポンプ
お客様ご指定のターボ分子ポンプにて高真空排気ユニットを製作いたします。
ターボ分子ポンプの取り付け方向については、ご相談ください。 |
| ■ |
その他
チャンバ、真空計、自動バルブなどは、ご希望にあわせて取り付けます。 |
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| ■加速器 |
■X線分析装置 |
| ■シンクロトロン放射光 |
■電子顕微鏡 |
| ■リークテスト |
■各種試験・分析装置 |
| ■質量分析装置 |
■補助高真空排気装置 |
| ■表面分析装置 |
■その他 |
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| ■ |
この真空ポンプは、クリーン排気仕様です。
人体に有害なガス、爆発、発火の危険性のあるガス、腐食性ガス、薬品、溶剤、粉体等は流さないでください。特殊なガス等を排気したポンプに対しては当社で保守をお引き受けできませんので、ご了承願います。 |
| ■ |
周囲温度8℃〜38℃の範囲で使用してください。
チャンバ、真空計、自動バルブなどは、ご希望にあわせて取り付けます。 |
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