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真空機器 よくあるご質問

よくあるご質問

Q1. スクロールポンプが省エネになるのはなぜですか?

A スクロール機構は回転ではなく旋回運動のためトルク変動が小さく、圧縮工程に多くのポケットができるために漏れも少なく高効率です。
しかも、ドライルーツポンプのようにギヤもギヤ油も必要ありませんので、消費電力の少ないポンプです。さらに、トルク変動の少ないスクロールだからこそ、IPMモーターなどの高効率モーターを使って、より効率の高い運転をすることも可能です。
ドライスクロールはクリーンだけでなく『省エネ』が特長です。


Q2. 特殊品に対応できますか?

A はい、対応できます。 日本メーカーならではのクイックレスポンスで、お客様のご要望に応じたカスタマイズも可能です。
  • よりリーク性能を高めた「リークタイト仕様」
  • マグネットカップリングを使い大気には動的シールのない「密閉仕様」
  • 省エネ性能を高めた「高効率モーター&インバーター仕様」
  • SF6などにも対応可能な「高密度ガス仕様」
  • 各種ターボ分子ポンプとの組み合わせによる「高真空排気ユニット」など
当社エンジニアにぜひ一度ご相談ください。

Q3. RoHSには対応していますか?

A はい、対応しています。

ISPシリーズ、GVSシリーズ、DVSL-500C/501Cが対応しています。
本来真空ポンプは対象外ですが、当社はグリーン調達推進とお客様の装置への組み込みを考慮して環境問題に積極的に取り組んでいます。


Q4. オイルフリースクロール真空ポンプと油回転、水封式ポンプとの違いは何ですか?

A オイルフリースクロールポンプは内部に潤滑油や封水を使用していないため、それら潤滑油や封水等による逆拡散が無く、いつもクリーンな真空と作業環境が得られます。

油回転ポンプ使用における潤滑油補給の手間やオイル代、交換時の産廃処理費用が不要です。また、水封式ポンプと異なり、水の管理も不要でランニングコストが抑えられます。オイルフリースクロール真空ポンプは環境性、メンテナンス性、経済性に優れたポンプです。


Q5. エアフラッシュとはどんな機構ですか?

A 真空ポンプ内部に凝縮した水分を排出するための機構です。

水分の吸引、あるいは湿度の高い気体を真空ポンプで排気すると、ポンプ内部で水分が凝縮します。凝縮した水分はポンプ内部に残留する場合があり、この残留水分が到達圧力不良や、故障の原因となる場合があります。そこで内部に残留している水分を排出するための機能がエアフラッシュです。エアフラッシュ運転を行うことにより内部に残留している水分を排出するだけでなく到達圧力の回復に効果があります。エアフラッシュを使用しても到達圧の変化は殆どありません。そこが従来のガスバラスト機構との違いです。


Q6. エアフラッシュを開放したまま連続運転できますか?

A はい、運転できます。
エアフラッシュを開放したまま連続運転をしても何ら問題はありません。若干排気の音が高くなりますが気体が流れる際に発生する音によるものです。当社では安心してご使用していただくためにポンプと装置の間に電磁弁(アイソレートバルブ)の設置をお奨めしております。詳細は取扱説明書の「装置との接続」の項の配管例をご参照ください。


Q7. 吸排気口の位置を変更できますか?

A はい、ISP-500C/1000はできますので、ご注文時にご指定下さい。
当社ではISP-500C/1000のみ、お客様のご用途に合わせて横向き仕様と上向き仕様の二種類を用意しております。(他の機種は該当しません)。


Q8. どんな種類のガスが適用できますか?

A クリーンガス排気仕様です。
人体に有害なガス、爆発、発火の危険性のあるガス、腐食性ガス、薬品、溶剤、液体、粉体等は流さないでください。特殊なガス等を排気したポンプの保守をお受けできませんのでご了承願います。


Q9. メンテナンスについて聞きたいのですが?

A 当社のオリルフリースクロール真空ポンプは日常のメンテナンスは不要ですが、1年毎または8,000時間毎/2年毎または16,000時間経ちましたら定期整備が必要となります。真空ポンプに取り付けされている時間計をご確認ください。
真空ポンプ使用状況等により整備基準時間は異なりますので販売店またはアネスト岩田真空サービスへお問い合わせください。


Q10. 修理をお願いしたいのですが?

A 当社もしくはご購入いただいた販売店へご連絡いただいたうえで修理品をアネスト岩田真空サービスまでお送りください。
正式なお見積書を作成し、お客様のご承認を得たうえで修理を行います。
お見積書提出まで3日、修理品の返送はお見積ご承認から7日が目安となっております。
また、修理期間中の代替機を準備しておりますので当社真空機器部までお申し付けください。


Q11. 電圧の仕様はどうなっていますか?

A ISPシリーズの電源仕様は ISP-90/250C/500Cとも単相仕様が100V~230V、  ISP-250C/500C/1000は三相200V~460Vの多重電圧が 標準機で対応可能です。 注文時にご指定ください。 DVSLシリーズにつきましてはDVSL-500C/501Cは三相200V~460V仕様となります。 GVSシリーズは単相・三相の単電圧なります。


Q12. アスベストを使用していますか?

A はい、使用していません。
発売当初から当社のオイルフリースクロール真空ポンプにアスベストは一切使用していませんので、安心してお使いいただけます。


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