世界初※の
ドライスクロール
真空ポンプ
コンパクトで高真空、低振動、低騒音、省エネの利点を持つ世界初の「ドライスクロール真空ポンプ」は、オイルフリースクロールコンプレッサの技術を応用して開発され、1993年にリリースされました。
真空ポンプは理化学・分析装置、半導体分野などあらゆる工業分野で高い評価を得て現在に至ります。
基本的な構造はコンプレッサと同じでも、似て非なるもの。ゼロから挑戦したドライスクロール真空ポンプだけに求められた技術的な難しさが多々あったといいます。当時、プロジェクトメンバーのひとりだった、当社社員真空開発グループの土屋勝に、開発エピソードを語ってもらいました。