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真空機器 排気セット:排気セット

VTUシリーズ 高真空排気ユニット

VTU-080-LM / VTU-080-LH

排気セット
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コンパクトな高真空排気ユニット

 ・ターボ分子ポンプを組合わせた高真空排気ユニット
 ・クリーン排気・真空
 ・コンパクト
 ・操作性

特長

クリーン排気・真空

オイルフリースクロール真空ポンプとターボ分子ポンプとの組合せのため、完全なオイルフリー高真空排気ユニットです。

コンパクト

非常にコンパクトで、設置面積が少ないため、現在ご使用中の装置に近接して設置可能です。

操作性

本ユニットは、スクロール真空ポンプとターボ分子ポンプをボタン一つで同時にスタートさせる自動操作※ができます。
※自動操作を行う場合、チャンバと配管部品を含んだ容量に制限があります。

オプション

チャンバ、真空計、自動バルブなどは、ご希望にあわせて取り付けます。

使用用途

■加速器 ■X線分析装置
■シンクロトロン放射光 ■電子顕微鏡
■リークテスト ■各種試験・分析装置
■質量分析装置 ■補助高真空排気装置
■表面分析装置 ■その他

安全上のご注意

この真空ポンプは、クリーン排気仕様です。
人体に有害なガス、爆発、発火の危険性のあるガス、腐食性ガス、薬品、溶剤、粉体等は流さないでください。特殊なガス等を排気したポンプに対しては当社で保守をお引き受けできませんので、ご了承願います。
周囲温度15℃~30℃の範囲で使用してください。

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