真空機器 ドライ真空ポンプ：ドライ真空ポンプ
ISPシリーズ（スクロールマイスター）
ISP-50/90/250C/250E/500C/1000E
ISP-50/90/250C/250E
| 形式 | ISP-50 | ISP-90 | ISP-250C | ISP-250E | |
|---|---|---|---|---|---|
| 設計排気速度 L/min（50/60Hz） | 50/60 | 90/108 | 250/300 | ||
| 到達圧力 Pa | 20/15 (50/60Hz) |
5 | 1.6 | ||
| 電動機出力 kW | 0.1 | 0.15 | 0.4 | ||
| 電源電圧 V | 単相 三相 |
100,115/200,230 | 100,115/200,230 | 100,115/200,230 | |
| なし | なし | 200,208,230/380,400,415,460 | |||
| 騒音値 dB(A) | 48 （at Air Flush 57） |
52 （at Air Flush 57） |
58 （at Air Flush 66） |
||
| リーク量 Pa・ｍ3/s | ≦1.0×10-7 | ≦1.0×10-5 | ≦1.0×10-5 | ≦1.0×10-7 | |
| 質量 kg | 単相 | 12 | 14 | 25 | |
| 三相 | なし | なし | 23 | ||
| 水蒸気処理量 g/day | 3 （at Air Flush） |
5 （at Air Flush） |
25 （at Air Flush） |
||
| エアフラッシュ量 L/min | 4 | 9 | 10 | ||
| 外形寸法 mm | 単相 | L317×W155×H227 | L308×W214×H225 | L400×W252×H336 | L397×W264×H338 |
| 三相 | なし | なし | L370×W252×H336 | L367×W264×H338 | |
| 吸気口径 | NW25 | ||||
| 排気口径 | NW16 | ||||
| 冷却方式 | 空冷 | ||||
| 標準装備 | エアフラッシュ、時間計、 サーマルプロテクタ付き（単相仕様） |
||||
・到達圧力は全圧力測定値です。
・騒音値は無響音室での測定値です。
ISP-500C/1000/1000E 仕様
| 形式 | ISP-500C | ISP-500C 【リークタイト仕様】 |
ISP-1000E |
||
|---|---|---|---|---|---|
| 設計排気速度 L/min（50/60Hz） | 500/600 | 1000/1200 | |||
| 到達圧力 Pa | 1 | 1 | |||
| 電動機出力 kW | 0.6 | 1.4 | |||
| 電源電圧 V | 単相 | 100,115/200,230 | なし | ||
| 三相 | 200,208,230/380,400,415,460 | 200,208,230/380,400,415,460 | |||
| 騒音値 dB(A) | 62 （at Air Flush 70） |
67 （at Air Flush 74） |
|||
| リーク量 Pa・ｍ3/s | ≦1.0x10-5 | ≦1.0x10-7 | ≦1.0x10-5 | ||
| 質量 kg | 単相 | 44 | なし | ||
| 三相 | 38 | 68 | |||
| 水蒸気処理量 g/day | 25 （at Air Flush） |
25
（at Air Flush）
|
|||
| エアフラッシュ量 L/min | 10 | 10 | |||
| 外形寸法 mm | 単相 | L443×W328×H372 （L443×W290×H397） |
なし | ||
| 三相 | L372×W328×H372 (L372×W292×H397） |
L549×W390×H421 (L549×W359×H451) |
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| 吸気口径 | NW40 | ||||
| 排気口径 | NW25 | NW40 | |||
| 冷却方式 | 空冷 | ||||
| 標準装備 | エアフラッシュ、時間計、 サーマルプロテクタ付き（単相仕様） |
||||
・騒音値は無響音室での測定値です。
・（ ）内寸法は吸気口、排気口が縦向きの場合です。
